[導讀:]潔凈車間在運行過程中需要嚴格控制車間內的溫度和濕度,來保證正常運作和員工舒適,具體應該怎么控制?潔凈車間里又為什么會有靜壓差?
潔凈車間在運行過程中需要嚴格控制車間內的溫度和濕度,來保證正常運作和員工舒適,具體應該怎么控制?潔凈車間里又為什么會有靜壓差?下面中凈環境詳細為大家介紹。
怎么控制潔凈車間的溫度和濕度?
1.凈化室的溫度濕度關鍵依據加工工藝規定明確,但在考慮加工工藝規定的標準下,要考慮到人的舒適度。隨之氣體潔凈度規定的提升,對溫度和濕度的規定愈來愈嚴苛。
2.潔凈工程溫度的實際規定將在后邊列舉,但做為通常標準,隨之生產加工精密度的提升,對溫度起伏范疇的規定會愈來愈小。比如,在規模性集成電路芯片造成的光刻曝出全過程中,夾層玻璃與硅片做為掩模原材料的線膨脹系數差規定愈來愈小。直徑100um的硅片,溫度升高1度,就造成了0.24um線形澎漲,因此務必有±0.1度的控溫,另外規定濕度值較低,由于人流汗之后,對商品將會有環境污染,非常是鈉的半導體材料生產車間,這類生產車間不可超出25度。
3.高濕度會造成大量的難題。當空氣濕度超出55%時,冷卻循環水壁厚曝露。假如它產生在高精密機器設備或電源電路中,就會造成各種各樣安全事故。空氣濕度通常在50%銹蝕。除此之外,當濕度很高時,粘附在硅片表層的塵土會被氣體中的氧分子有機化學地粘附在表層,它是沒辦法除去的。空氣濕度、粘結性越高,則越難除去,但當空氣濕度小于30%時,又因為靜電感應顆粒物對表層吸咐的危害,還非常容易對很多集成電路工藝造成熱擊穿。硅片生產制造的最好溫度范疇是35 - 45%。
潔凈車間為什么有靜壓差?
1.在凈化室基本設計方案中,新風系統和送風模式所有是由氣體處理單元(AHU)送出去的。在不動新風系統和排風系統的狀況下,撇開耗損沒去考慮到,因為管路是密閉式的,基礎理論上講,AHU送出去的排風量與回家的排風量是相同,換句話,凈化室容積內的總排風量是不會改變的,風力越大,只意味著換風增加、流動性加速了罷了。在風口尺寸明確的狀況下,排風量是與風力是正比的,這時候能夠把風力了解成風量的定性分析值,但因為你出的快,我回的也快,因而,相對性屋子以外的地區還是均衡的,不是流動性的,因而也就沒有壓差存有。
2.倘若在所述基本上,人們提升了新風系統,這時候人們馬上發覺,先前的均衡被擺脫了。由于要與新風系統混和,因此回排風量就沒有以前的多了,但正壓送風口的排風量卻沒有轉變。這種多出去的排風量因為沒法從送風口所有回來,務必要向其他地區外擴散,那樣就造成了該屋子對其他地區的正工作壓力。因此,在實質上工作壓力來自排風量的轉變,而并不是風力或換風。
3.假如在所述送風模式和新風系統添加的基本上,又提升了排風系統。這時候人們就會發覺,當風量低于排風量的那時候,屋子相對性其他地區是正壓力的,相反,則是空氣壓力。
以上就是深圳中凈環境關于“潔凈車間控制溫度濕度”和“潔凈車間靜壓差”等問題提供的分享解答,希望能對您有幫助。為了給車間和員工一個良好的工作環境,必須要保持車間內的溫度和濕度維持在規范標準內,過多過少都是不利的。
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