以芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間為代表的電子工業工程潔凈室（區）除了對微粒的嚴格控制外，還對溫濕度的控制、照度（甚至光源要求）微震等要求更嚴格，消除靜電對生產產品的影響，從而使環境達到電子產品在潔凈環境的生產工藝要求。

   潔凈室（區）的溫、濕度應根據生產工藝要求確定當生產工藝無具體要求時，其溫度可按20～26℃，相對濕度30%～70%采用。人員凈化用室和生活用室的溫度可按16～28℃采用。根據與國際ISO標注接軌的中國國家標準GB-50073，這類潔凈室（區）的潔凈度等級1～9級，其中1～5級，氣流流型為單向流或混合流，風速0.2～0.45m/s；6級氣流流型為非單向流，換氣次數50～60次/h；7級氣流流型為非單向流，換氣次數15～25次/h；8～9級氣流流型為非單向流，換氣次數10～15次/h。

根據現行規范，電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級（空態）：不應大于65dB(A)

1．電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

2．電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa。

3．電子制造行業萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值：

4．補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

5．保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40㎡。

無塵室的送風量，應取下面三項最大值：

●保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量。

●根據熱，濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量。

●向電子制造廠潔凈室內供給的新鮮空氣量。

這類潔凈室（區）有電氣、電子生產潔凈室、電子計算機潔凈室、半導體工業潔凈室等等。涉及凈化通風空調工程、公用動力系統、電氣工程、照明、電信、消防工程、動力設備安裝工程、彩鋼板圍護工程等。

焗爐萬級無塵車間

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模切千級無塵車間2

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